G・I線レジスト

半導体からMEMSまで汎用性の高いG・I線レジスト

G･H･I線のプロード露光波長プロジェクション露光から高NA G・I線ステッパー露光機に対応可能なポジティブ、ネガティブ両タイプのレジストをご用意しております。厚膜対応、高感度対応、ポリシリコン、タングステン配線等の高反射基板に対応する染料入りタイプなど、さまざまなレジストをラインナップしております。本サイトには代表的な製品をご紹介しております。他にも多種多様なラインナップをご用意しておりますのでその他タイプについてもお気軽にお問い合わせください。

OFPRシリーズ、TSMRシリーズ

G線(436nm)に感光波長を有するポジ型フォトレジストのシリーズです。ストリエーションが少なく、品種によってはターゲット寸法0.7μmまでの高解像度が得られます。かつTMAHによる現像工程が容易です。Na、Feなどのメタル不純物も少なく、剥離も容易です。OFPRシリーズの中でも、OFPR-800は有機アルカリ現像液OFPR-NMD-3 2.38%との組み合わせにより、G線ポジ型フォトレジストとして広く普及しました。その他OFPRシリーズには高感度タイプのOFPR-5000、高耐熱タイプのOFPR-8600など多くのタイプがあります。TSMRシリーズは高NAステッパーに対応した高解像レジストシリーズです。更に矩形形状が特徴のTSMRーVシリーズ、高反射基板に対応した染料入りTSMR-CR等、多種多様の製品を取り揃えております。

TSMR、THMR-iP、TDMR-ARシリーズ

I線（365nm）に感光波長を有するフォトレジストです。ストリエーションが少なく、Lineで最小0.35μm、Holeで最小0.4μmの高解像性が得られます。かつTMAHによる現像工程が容易です。Na、Feなどのメタル不純物も少なく、剥離も容易です。

TSMR-iNシリーズ

I線（365nm）に感光波長を有するネガ型フォトレジストです。耐熱性が高く、ウエット／ドライエッチング耐性が高いです。