東京応化工業の製品サイト
リソグラフィープロセスにおいてレジストと一緒に使用する薬品類をレジスト付属品と呼びます。
現像液はレジストの露光、未露光部の溶解度差を利用してパターンを作ります。
レジスト塗布後のエッジリンスやバックリンスなど多くの用途で使用します。
エッチング後のレジスト除去、エッチング時に発生した不純物の除去に使用します。
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