当社が提供する材料に関して、お客様からよくいただくご質問を、Q&A形式でご紹介しています。
こちらにない質問に関しては、お手数ですがお問い合わせフォームよりご連絡ください。後日、担当者よりご連絡いたします。

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製品や保証について

QT瓶、GA瓶、キャニスター缶とは?
フォトレジストは伝統的にQT(クォート)瓶、GA(ガロン)瓶と呼ばれる褐色ガラス瓶に入っています。それぞれ0.946L、3.785Lです。キャニスター缶はステンレンのリンク容器で、18L容量があります。
SDSとは何か?
SDS(Safety Data Sheet) 化学物質等の危険又は有害な性質等についてのデータや情報を収録したシートのことで、取扱者が製品の危険・有害な性質を事前に把握し、適切な使用・取り扱いを行うことで、労働災害等を未然に防止する目的としています。
保証期間、保証温度、納期等は?
レジストは基本的に受注生産で、納期は4週間以上掛かります。余裕を持った発注をお願いいたします。
ご使用に際しては最新のSDS、ラベル表示をご参照の上、取り扱いには十分ご注意ください。
保証期間・保証温度は製品ごとに異なるため、お問い合わせください。
HMDS処理とは?
ウエハ表面は親水性でフォトレジストとの密着性が悪いためHMDS処理を行って疎水性にすることで密着性を向上させます。
レジストは保冷庫から出してすぐに使えますか?
保冷庫の温度や瓶の大きさによりますが、常温に戻るには数時間かかります。レジストや現像液の温度は一定にして使用しませんと、感度の変動する原因になります。
コーターの配管洗浄の必要性とは?
配管洗浄は新しいコーターの立ち上げに行いますが、その後は異物の発生を防止するため2~3か月毎に定期的な洗浄が必要です。

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