東京応化工業の製品サイト
EBレジスト
ポジタイプ OEBR-CAP シリーズ
感度優先と解像度優先のそれぞれ3タイプのポジタイプをご用意しております。
ネガタイプ OEBR-CAN シリーズ
ネガティブトーンタイプのEB描画用レジストもご用意しております。
文中のOEBRはTOKの出願中または登録商標です
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