EUVレジスト

長年築いた感光性樹脂開発を結集

東京応化工業はレジスト専業メーカーとして、古くはゴム系ネガレジストから現在に至るまで研究開発、製造、販売を行なってまいりました。現在、最先端技術の13.5nmに吸収波長があるEUVレジストについても研究開発を続けており、既に量産ラインでの採用もいただいています。今後も顧客の声、要望に応えるべく企業活動を継続していきます。