ガラスエッチング用レジスト

フッ酸耐性を有するガラスのウェットエッチング加工用フォトレジスト

ガラスへのウェットエッチング加工を可能にしたレジストです。Glibes N-100はフッ酸に対して非常に良好な耐性を有しており、ガラスをフッ酸のウェットエッチング(食刻)にて小さくて深いパターン形成を行うことができます。

ウェットガラスエッチング用レジスト Glibes N-100

Glibes N-100はフッ酸に対して非常に良好な耐性を有し、ウェットエッチングにて小さくて深いガラスエッチング加工が可能です。

SEM 40μm スペース

ウェットエッチング後/レジスト除去後
測定寸法

レジスト寸法

エッチング幅

エッチング深さ
43.3 110.6 30.3

SEM 7.0μm スペース

EM 7.0μm スペース
  • レジスト実寸法 (ボトム部) = 8.7 μm 
  • ガラスエッチング幅=49.2 μm
  • ガラスエッチング深さ=19.0 μm
レジスト ボトム/エッチング 幅/エッチング 深さ

ウェットガラスエッチング用レジスト Glibes N-100

ウェットエッチングによるガラスカッティングでは、切断面のマイクロクラックの発生なく切断する事で機械式切断方法と比較して2倍以上のガラスの強度を確保する事が可能です。

  • 平均ガラス強度
  • 機械工具切断:600 MPa
  • ケミカル切断:1000 MPa over
ウェットガラスエッチング用レジスト Glibes N-100
ウェットガラスエッチング用レジスト Glibes N-100

条件

  • ガラスサイズ:120×60×0.7t (mm)
  • ガラスタイプ:Dragontrail (AGC)
  • DOL:18um
  • n=20

測定

  • 機器 :FTN1-13A (AIKOH エンジニアリング)
  • 加重スピード:1mm / 1min
強度測定方法

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