フッ酸耐性を有するガラスのウェットエッチング加工用フォトレジスト
ガラスへのウェットエッチング加工を可能にしたレジストです。Glibes N-100はフッ酸に対して非常に良好な耐性を有しており、ガラスをフッ酸のウェットエッチング(食刻)にて小さくて深いパターン形成を行うことができます。
Glibes N-100はフッ酸に対して非常に良好な耐性を有し、ウェットエッチングにて小さくて深いガラスエッチング加工が可能です。
測定寸法 | ||
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① レジスト寸法 |
② エッチング幅 |
③ エッチング深さ |
43.3 | 110.6 | 30.3 |
ウェットエッチングによるガラスカッティングでは、切断面のマイクロクラックの発生なく切断する事で機械式切断方法と比較して2倍以上のガラスの強度を確保する事が可能です。
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