センサー

逆テーパー形状のレジストパターンより、⾦蒸着や金属スパッタリングよって、エッチング⼯程を行うことなく基板上に所望の金属層・配線層を形成できます。

関連製品

厚膜配線

キャビティ構造形成にフィルム貼り付けによる中空構造の形成ができます。

関連製品

MEMSセンサー

SAW/BAWフィルター

フォトリソグラフィー技術にて微細な高透過率の膜の形成が可能です。また、パターニング後に熱処理やエッチングによりレンズ形状等の加工が可能です。

関連製品

受光素子のレンズ

接着剤

ブレード／ステルスダイシング時の切屑、デブリ付着を防止します。プラズマダイシング行程中のマスク材料としても使用可能です。

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シリコンウエハ

ガラスのウエットエッチングにより特殊な形状が加工できます。