機能性材料

光学的に設計された材料をレジストの上層膜・下層膜として組み合わせることで、良好な形状維持、寸法制御を実現します。

拡散用塗布液及び平坦化用塗布液をはじめ、塗布焼成することでSiO₂やB₂O₃を主成分とする被膜を形成する材料です。

現像やエッチング等の薬液処理やカッティング、研磨の物理的加工、レーザー加工等の工程における、腐食、パーティクル、デブリの付着による未加工部分のダメージ、汚染を塗布形成膜にて保護します。

低自家蛍光・低細胞毒性などの特性を有し、Si、ガラス、BioMEMSにも適用可能な感光性接着剤です。

250ミクロン以下の薄膜ミリ波吸収体です。