構造形成材料

メムスセンサー、CISマイクロレンズなどに適用可能な、高透過率・高信頼性の膜を形成できる特殊用途フォトレジストです。

光学部材向けに高い永久膜特性を有する、高信頼性・高屈折率のUVナノインプリント材料をご提供いたします。

微細加工への先端プロセスの一環として、DSA（Directed Self Assembly）Process用材料の開発を進めています。

高解像、高密着性で高アスペクトの微細パターンの形成が可能な、エポキシ樹脂ベースの高解像感光性永久膜です。