ディスプレイ用レジスト

大型基板向け高面内均一性/微細加工/高感度フォトレジスト

大型ガラス基板を用いるディスプレイ用途として設計、開発した配線パターニング用ポジ型レジストです。スピンコート（Spin Coat）、スリットコート（Slit Coat）いずれにも対応した製品をラインナップしており、レジストに求められる寸法制御性、エッチャント耐性に加え、大型基板塗布での面内均一性にも優れております。また、対象下地もAl、ITOと多岐に渡ります。