保護膜材料

現像時やエッチング用、ダイシング時にデバイス面と裏面を保護する

保護膜材料とは、現像時、エッチング用、ダイシング時にデバイス面又は裏面を保護する目的で使用する樹脂材料です。
主な樹脂液としてはネガレジストと同じ樹脂成分のOBC、ポジレジストと同じ樹脂成分のBCR、OFR-5があります。水溶性樹脂としては汎用性のあるTPF、レーザー加工時の保護膜に特化したTLDP-300があります。

非感光性樹脂溶液

保護表面に塗布、ベークにて樹脂層を形成して、薬液、ダメージ、異物による汚染、ダメージから表面を保護します。アルカリ水溶液で容易に剥離可能なノボラック系樹脂タイプのOFR-5とキシレン溶剤等の有機溶剤にて剥離を行う酸性、アルカリ性どちらにも優れた耐薬品性のゴム系樹脂タイプのOBCと二種類の製品をご用意しております。

水溶性樹脂溶液

TPFは高純度な水溶性の樹脂溶液です。多層レジストの上下層、中間層でのインターミキシング防止、ウエハ裏面保護、ウエハやガラスのカット時の付着物防止、など幅広くご使用いただけます。

水溶性樹脂溶液

レーザー加工時のウエハ表面保護に使用します。