反射多層材料

Non-PFOS、Non-PFOA対応のTARC材やBARC材に有効

良好な形状維持、寸法制御のソリューションとして、光学的に設計された材料をレジストの上層膜・下層膜として組み合わせることにより確実に効果が得られます。
露光時のレジスト層内での干渉による定在波を原因とした側壁形状変動、ならびに寸法変動の対策に、TARC材ならびにBARC材の使用が有効です。

当社のTARC材ならびにBARC材は残留性有機汚染物質として国際的に製造、使用が規制されているPFOS、PFOA材を含まない製品を供給しております。

主要材料ラインナップ

	I線	KrF
TARC	TSP-IL2600C	TSP-EX3002A
BARC	SWK-T7	SWK-EX4

＊上記製品はすべてNon-PFOS、Non-PFOAです。

お問い合わせ

TARC材および BARC材

ARC ; Anti-Reflective Coating

文中のTSP、SWKはTOKの出願中または登録商標です

ご質問・ご相談などお気軽に