FPD用高解像ポジ型フォトレジストの開発 TFR-D1700/750

液晶ディスプレイの高精細表示

FPD（Flat Panel Display）の代表である液晶ディスプレイのバネルには 、パネルを構成する多数の画素（画像の素となる点）が敷き詰められています 。この画素は1枚のパネルに何百万個もあり、映像の切り替えのために、薄膜トランジスタ (TFT) と呼ばれる、オン・オフ切り替えスイッチがあります（図1) 。

図1　液晶パネルを構成する画素

液晶パネルの中に薄膜トランジスタ(TFT)が敷き詰められています。

液晶パネルは 近年高精細化が進み、このようなパネルは、画素数を増加する（例えば、フルHDで200万個程度、4Kで800万個程度）ことで、鮮明で見やすい画面表示を実現しています。限られた画面サイズのスマートフォンでは、スイッチのTFTもおのずと小さく作る必要があります。加えてTFTはただ小さいだけではなく、全てのTFTが同じ形でなければ同じく動作しないため、表示機能が損なわれてパネルが不良品になります（図2) 。

図2　液晶パネルの良品と不良品

このため、微小なTFT や回路のバターンを形成するために使用される液晶パネル用フォトレジストには、微細化とともに、パネル全面 にパターンを均一に描画する性能が要求されるだけでなく、お客様の生産効率を最大化するために、描画の効率アップも要求されます。そのために、フォトレジストは感光性（光に当たり化学反応を引き起こす性質）を向上させる必要があります。
弊社ではディスプレイ事業で培った高感度化および大面積での品質安定性技術に加え、半導体事業で培った高精細化技術を融合させることで、他社に先駆けディスプレイ向け高精細フォトレジストの開発に成功し、多くのお客様にご使用いただいております。

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