液晶バネルは上下2枚のガラス基板の間に、液晶を挟み込んだ構造になっています。その中で「スペーサー」は、2 枚の基板の間隔を一定に保ち、液晶の厚みを一定にする役割を担っており、建物でいえば柱と同じ役割を果たしています。(図 1 ) 。近年はスマートフォン上での映像視聴が当たり前となり、ディスプレイの高精細化が進んでおりますが、従来の設計寸法では高精細化に伴い画素領域(CF)の縮小による輝度低下、消費電力の増大といった問題が発生します(図2)。そこで画素領域の拡大を行うため、TFT配線及びブラックマトリクス(BM)の高解像度化が進んでおり、フォトスペーサーにおいても配線、BM設計に合わせた高精細フォトスペーサーが使用されています(図3)。
当社ではハーフトーンプロセス(1つのマスク内に光の透過率が異なる箇所(例えば0%, 20%, 100%)が混在しているフォトマスクを使用しパターニングを行うプロセス)に適用した材料を保有しており、一度の露光でスペーサーの高さをそれぞれ変えることが可能です(図4)。
ハーフトーン フォトスペーサー |
ハーフトーンを使用して、フォトスペーサーを形成することを「ハーフトーンフォトスペーサー」と呼んでいます。 |
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