技術情報

スペシャルコンテンツ エンジニアが本音で語る「スピンレス開発秘話」
ビードタッチ
減圧乾燥
減圧乾燥技術とは、流動性薄膜を、遮蔽空間内で低減圧状態にすることにより、以下の効果が得られます。
1.加熱せずに塗布液の溶媒を蒸発させることで(温度影響による揮発むら)を抑制すること ができます。
2.短時間で流動性薄膜を乾燥固化することができます。
3.一定量の溶媒を減圧で乾燥気化させる為、加熱処理時の溶媒昇華物を低減できます。
以上のメリットを有する減圧乾燥処理と当社塗布技術の組み合わせは、液晶材料塗布技術の開発時から現在に至るまで、当社の装置における基本塗布方式として採用されており、液晶用のレジスト塗布方法として、最も標準的に用いられています。
この技術は「塗布装置(スピンレス)」において、速やかに表面膜の流動性を無くし、乾燥させる技術として、必要不可欠なプロセスです。
 
最先端テクノロジーの「証」=スピンレスnozzle
特殊ステンレス材料を用い、高精度加工にてスリット状に形成されたノズルをスリットノズルと呼んでいます。スリットノズル内部構造に関しては、当社独自の技術が集約されたものとなっています。
最先端テクノロジーの「証」=ポンプ
一般的なポンプ方式とは異なり、高精度分解能と特殊吐出方式を採用し、液体の摺動摩擦がなく、パーティクルが発生しない機構となっています。
最先端テクノロジーの「証」=ガントリ(走行系)
塗布動作を行う時のスリットノズル移動を行う可動機構です。スピンレス®では、非常に高精度な塗布を行うために、極めて無振動に定速走行性能を達成しています。