活用例

ポジレジスト(0.3Pa・S)(3cp)

基板サイズ 680×880×0.7t(mm)
装置 TR45000S
膜厚 1500nm
Range 47.3nm
均一性 ±1.51%

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基板サイズ 1100×1250×0.7t(mm)
装置 TR63000S
膜厚 1500nm
Range 47.8nm
均一性 ±1.52%

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基板サイズ 1500×1850×0.7t(mm)
装置 TR90000S
膜厚 1500nm
Range 50.8nm
均一性 ±1.66%

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  • ポジレジストの用途は主に薄型ディスプレイ内の電気配線をパターニングする際に必要な塗布液です。
  • 対象物の大きさが変わっても、高均一な塗布が可能です。

カラーレジスト(0.3〜0.5Pa・S)(3〜5cp)

基板サイズ 630×880×0.7t(mm)
装置 TR45000S
膜厚 2000nm
Range 66.2nm
均一性 ±1.65%

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基板サイズ 1100×1250×0.7t(mm)
装置 TR63000S
膜厚 2000nm
Range 66.7nm
均一性 ±1.66%

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基板サイズ 1500×1850×0.7t(mm)
装置 TR90000S
膜厚 2000nm
Range 68.4nm
均一性 ±1.70%

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  • カラーレジストの用途は薄型ディスプレイ内のカラーフィルターを 製造する際に使用する塗布液です。
  • カラーフィルタ製造工程は、塗布ムラが製品不良に直結しますので、塗布ムラの出ない事が非常に重要な項目です。
  • 対象物の大きさが変わっても、高均一な塗布が可能です。

その他1.柱材

基板サイズ 630×880×0.7t(mm)
装置 TR45000S
膜厚 4500nm
Range 162.8nm
均一性 ±1.86%

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基板サイズ 1100×1250×0.7t(mm)
装置 TR63000S
膜厚 2000nm
Range 67.8nm
均一性 ±1.69%

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  • 柱材とは、液晶パネル製造工程に使用される特殊な材料です。
  • この工程は、非常に高均一性を求められる工程です。

その他2.SOG

基板サイズ 1100×1250×0.7t(mm)
装置 TR63000S
膜厚 759nm
Range 38.4nm
均一性 ±2.53%

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  • SOGとは、Spin On Glassの略です。
  • 非常に乾燥性が高く、固化しやすい材料です。