東京応化工業の製品サイト
プロセス機器Q＆A
当社が提供するプロセス機器に関して、お客様からよくいただくご質問を、Q&A形式でご紹介しています。
こちらにない質問に関しては、お手数ですがお問い合わせフォームよりご連絡ください。後日、担当者よりご連絡いたします。
焼成装置
TN90000Nシリーズ
- 熱処理中酸素濃度は変動しますか？
- 真空下での熱処理の為、超低酸素濃度状態を保持したままの熱処理となります。
- 段階的な温度処理は可能ですか？
- 処理シーケンスの設定により任意に温度設定に対し昇温、温度保持が可能であり、ステップシーケンスを設定することが可能です。
塗布装置
TN36000シリーズ
- 低粘度の塗布は可能でしょうか？
- 可能です。
- 最大サイズはいくつになるでしょうか？
- 600mm× 600mmまで対応可能です。
- ノズルは最大何本設置できるのでしょうか？
- 最大2本までの設置は可能ですが、塗布を行う場合は段取り替えが必要です。
- R&D用装置は製品として販売していますか？
- G2.5（370×470mm）サイズ以下対応の非スピン式塗布装置、仮乾燥装置（HVCD）に関してR&D用単体マニュアル機を販売しております。ご相談ください。
TN90000Sシリーズ
- 材料の対象粘度が1000~10000cpとなっていますが、それ以下の粘度は塗布できますか？
- 塗布系統の最適化は必要となりますが基本的には低粘度材料でも塗布可能です。
- 1枚の基板に複数のエリアに塗布できますか？
- 塗布幅は固定、塗布距離は任意にて分割塗布が可能です。例）2×2=4面塗布、3×4=12面塗布など
- R&D用装置は製品として販売していますか？
- G2.5（370×470mm）サイズ以下対応の非スピン式塗布装置、仮乾燥装置（HVCD）に関してR&D用単体マニュアル機を販売しております。ご相談ください。
UVキュア装置
TIPSシリーズ
- 化学反応からアプローチしたUVキュアプロセスとは何ですか？
- パターニングが可能な有機膜はメイン樹脂と感光材で構成されています。TOK独自のUVキュアはこの感光材とメイン樹脂を如何に化学反応させるかが重要となります。トップフォトレジストメーカーのTOKには、これら基礎技術・知見が豊富にあり、様々な有機膜に対して、最適なプロセスを提供できます。
- UVランプは消耗品でしょうか？また消耗品であるならば、交換周期はどのくらいでしょうか？
- UVランプは消耗品です。その他に消耗品はありません。交換周期は連続点灯で1,000時間が目安となります。
- 透明膜のUVキュアは透過率が下がると聞きますが、何故、下がらないのですか？
- 透過率が下がる原因は有機膜内部にある化学結合が発生します。従って、この化学結合が発生しないよう、特殊なプロセスで処理を行います。
- 真空UV処理は可能ですか？
- 可能です。処理レシピの構成で真空の有無を選択できます。
- 薄化ウエハに対応とありますが、何か特殊な機構を備えていますか？
- プラズマアッシング装置で培った薄化ウエハ搬送のノウハウをTIPSに応用しています。
レジストアッシング装置
TCA-7000シリーズ
- TAIKOウエハに対応できますか？
- 対応可能です。
- 新ウエハ吸着機構はなぜデチャックのトラブルが発生しないのですか？
- 静電吸着機構と異なり、残留応力が発生しないため、容易にデチャックできます。
- なぜ、常温での高速アッシングが可能なのですか？
- イオンラジカルアッシングが可能なプラズマソースを搭載しているからです。
- 裏面パーティクルの対策を行っていますか？
- 行っています。搬送ロボットには、ウエハ非接触式のベルヌーイチャックに対応しており、処理ステージに関しても、任意枚数でステージ表面を自動的にプラズマクリーニングします。
- 裏面に保護膜の付いた薄化ウエハを処理できますか？
- 可能です。ノーマルウエハとなんら変わりのない処理ができます。
TCA-5800シリーズ
- 300mm用のアッシャーはないのでしょうか？
- TCA-7200シリーズが300mm対応のアッシャーとなります。
- アッシングソースは、何を使っていますか？
- 13.56MHzのRFを使用しております。
- 真空搬送はできないのでしょうか？
- TCA-7000シリーズが真空搬送のアッシャーとなります。
- アッシングガスは、何を使っていますか？
- 酸素単独を基本としておりますが、添加ガスを追加することも可能です。
- チャンバーの材質は何ですか？
- 石英を使用しております。
- 他社アッシャーからの置換えは、可能でしょうか？
- 可能です。
- ドライポンプは、何台必要でしょうか？
- 1台のみとなります。
半導体実装
Zero Newton TWM12000シリーズ
- 接着剤の塗布膜厚は？
- 1回の塗布で30～120umまで塗布が可能です。
- 膜厚測定器は付随していますか？
- オプションになります。
- 接着剤の種類は何種類装着可能ですか？
- 標準仕様で2種類まで装着可能です。
- 貼付け温度は何度ぐらいですか？
- 条件により170～215℃になります。
- 適用ウェハーサイズは？
- 200㎜と300㎜ウェハーに対応しております。
- 貼付け圧力はどのぐらいですか？
- 300mmウェハーで最大4,000kgfまで可能です。
Zero Newton TWR12000シリーズ
- 分離層と接着剤の洗浄方法は？
- 夫々の専用薬液で洗浄します。
- 洗浄薬液の供給はしていただけますか？
- tokが夫々の専用薬液を供給させていただきます。
- 接着剤の洗浄溶剤は汎用品ですか？
- 特別な薬液で洗浄しています。
- ガラスを剥がすときのWfへの応力はどのぐらいですか？
- ほぼ０です。（Zero Newton™の由来です。）
- ユニットの増減は可能ですか？
- プロセス条件、ご要望のUPHにより、ユニットの増減は可能です。
- ウエハとダイシングテープの共用はできますか？
- 段取り替えをすることで対応可能ですが、ロードポートは専用化が必要になります。
- ウエハサイズは？
- 200mmと300mmに対応しております。
Zero Newton TWM36000シリーズ
- 最大サイズはいくつになるでしょうか？
- 600 × 600㎜まで対応可能です。
- 最小サイズはいくつになるでしょうか？
- 自動機は510 × 515㎜としています。開発用途のマニュアル機についてはお問い合わせてください。
- 接着剤など推奨はありますか？
- tokで各プロセスに対応した剥離層、接着剤が供給可能です。
Zero Newton TWR36000シリーズ
- 最大サイズはいくつになるでしょうか？
- 600 × 600㎜まで対応可能です。
- 溶剤は何を使用するのでしょうか？
- tok製接着剤の洗浄に最適な洗浄液をtokより供給します。
文中のZero NewtonはTOKの出願中または登録商標です
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