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UVキュア・レジストハードニング装置
あらゆる有機薄膜の耐熱性・ドライエッチング耐性・耐薬性の改善が可能。
関連技術情報
TIPS-5200/5800シリーズ
スペック
| ウエハサイズ | TIPS-5200：300mm/200mm TIPS-5800：200mm/150mm/125mm/100mm |
|---|---|
| UVシステム | 照射ユニット×1式 |
| 処理室 | 環境管理 |
| 搬送系 | 大気搬送システム |
| 処理温度 | RT〜90℃/ヒーター仕様︓90〜200℃ |
| カセット | FOUP/オープンカセット |
| 真空ポンプ | ドライポンプ×1台 |
| 通信 | GEM/GEM300 ※300mm装置のみ |
プロセス性能
| 耐熱性 | レジストの耐熱性を50℃以上アップ |
|---|---|
| 耐ドライエッチング性 | レジストの耐ドライエッチング性を10%以上アップ |
| メタルコンタミネーション | ＜10E10atoms/cm2 |
| パーティクル | ＜30個以下/0.2um-up (300mmウエハ) |
| スループット | ＞50wfs/hr |
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