あらゆる有機薄膜の耐熱性・ドライエッチング耐性・耐薬性の改善が可能。

関連技術情報

TIPS-5200/5800シリーズ

TIPS-5200/5800シリーズ

G線・I線・KrFレジストに対応するUVキュア装置

100/125/150/200/300mmウエハに対応。膜特性に合わせた波長変調システムを搭載。トップフォトレジストメーカーであるTOKが化学反応からアプローチした独自のUVキュアプロセスを提供いたします。透明膜であっても、透過率を低下させず、キュアできます。また、パワー半導体などの薄化されたウエハにも対応可能です。

スペック

ウエハサイズ TIPS-5200:300mm/200mm
TIPS-5800:200mm/150mm/125mm/100mm
UVシステム 照射ユニット×1式
処理室 環境管理
搬送系 大気搬送システム
処理温度 RT〜90℃/ヒーター仕様︓90〜200℃
カセット FOUP/オープンカセット
真空ポンプ ドライポンプ×1台
通信 GEM/GEM300 ※300mm装置のみ

プロセス性能

耐熱性 レジストの耐熱性を50℃以上アップ
耐ドライエッチング性 レジストの耐ドライエッチング性を10%以上アップ
メタルコンタミネーション <10E10atoms/cm2
パーティクル <30個以下/0.2um-up (300mmウエハ)
スループット >50wfs/hr

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