あらゆる有機薄膜の耐熱性・ドライエッチング耐性・耐薬性の改善が可能。
ウエハサイズ | TIPS-5200:300mm/200mm TIPS-5800:200mm/150mm/125mm/100mm |
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UVシステム | 照射ユニット×1式 |
処理室 | 環境管理 |
搬送系 | 大気搬送システム |
処理温度 | RT〜90℃/ヒーター仕様︓90〜200℃ |
カセット | FOUP/オープンカセット |
真空ポンプ | ドライポンプ×1台 |
通信 | GEM/GEM300 ※300mm装置のみ |
耐熱性 | レジストの耐熱性を50℃以上アップ |
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耐ドライエッチング性 | レジストの耐ドライエッチング性を10%以上アップ |
メタルコンタミネーション | <10E10atoms/cm2 |
パーティクル | <30個以下/0.2um-up (300mmウエハ) |
スループット | >50wfs/hr |
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