東京応化工業のプラズマアッシング装置は、30年以上の歴史があり、世界中に900台以上の導入実績があります。
100〜300mmウエハ対応の高密度プラズマによる低ダメージレジストアッシング装置です。
様々なプロセスチャンバーを搭載でき、ノーマルレジストからインプラレジストのアッシングから窒化膜のエッチング等に対応しております。

関連技術情報

TCA-7200/7800シリーズ

TCA-7200/7800シリーズ

パワー半導体の製造に適したプラズマアッシング装置

100/125/150/200/300mmウエハサイズに対応。高ドーズイオン注入後レジストを短時間で剥離可能。ウエハの冷却効率を向上させる新ウエハ吸着機構を搭載。静電吸着機構(ECS)と異なり、デチャックのトラブルがありません。パワー半導体などの極薄化されたウエハに最適です。

スペック

ウエハサイズ TCA-7200:300mm/200mm
TCA-7800:200mm/150mm/125mm/100mm
プロセスチャンバー 2チャンバー (13.56MHz)
プロセスガス O2/N2/CF4/Ar (最大4系統)
搬送系 ロードロック式
処理温度 RT〜100℃
カセット FOUP/オープンカセット
真空ポンプ ドライポンプ×3台
通信 GEM/GEM300

プロセス性能

アッシング特性 >1.0um/min <±10% 60℃処理時 (300mmウエハ)
メタルコンタミネーション <10E10atoms/cm2
パーティクル <30個以下/0.2um-up (300mmウエハ)
スループット >100wfs/hr
その他機能 EDPによる自動終点検出

小フットプリントレジストアッシング装置 TCA-5800シリーズ

TCA-5800シリーズ

小スペースアッシャーであり、旧型アッシャーの狭小スペースへもおさまり、様々なアッシングプロセスに対応

弊社製 旧型アッシャー(TCA-2400/3400、TCA-2600/3600、TSE-306W、OAPM-301B-301B)からの置換えが可能です。
プロセス性能は同等以上、既存スペースを利用して、容易に置換えが可能です。
新制御器を搭載し、装置状態チェック(リーク、動作速度、消耗品動作回数等)やログの記録等、新たな機能を搭載しております。

スペック

搬送機構 大気搬送
1チャンバー、1カセット(オプション: 2カセット)
対応ウエハ 25mm, 50mm, 75mm, 100mm, 125mm, 150mm, 200mm
対応プロセス アッシング、エッチング
プロセスチャンバー 既存品と同様、
(TCA/E-2400, TCA/E-2600, TSE-306W, TCA/E3400, TCA/E-3600)
スループット 既存装置と同等以上
その他 プロセスログ、装置状態チェック機能(リーク、 消耗品動作回数、動作速度等)、ログ記録機能

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