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レジストアッシング装置
東京応化工業のプラズマアッシング装置は、30年以上の歴史があり、世界中に900台以上の導入実績があります。
100〜300mmウエハ対応の高密度プラズマによる低ダメージレジストアッシング装置です。
様々なプロセスチャンバーを搭載でき、ノーマルレジストからインプラレジストのアッシングから窒化膜のエッチング等に対応しております。
関連技術情報
TCA-7200/7800シリーズ
スペック
| ウエハサイズ | TCA-7200：300mm/200mm TCA-7800：200mm/150mm/125mm/100mm |
|---|---|
| プロセスチャンバー | ２チャンバー (13.56MHz) |
| プロセスガス | O2/N2/CF4/Ar (最大4系統) |
| 搬送系 | ロードロック式 |
| 処理温度 | RT〜100℃ |
| カセット | FOUP/オープンカセット |
| 真空ポンプ | ドライポンプ×３台 |
| 通信 | GEM/GEM300 |
プロセス性能
| アッシング特性 | ＞1.0um/min ＜±10% 60℃処理時 (300mmウエハ) |
|---|---|
| メタルコンタミネーション | ＜10E10atoms/cm2 |
| パーティクル | ＜30個以下/0.2um-up (300mmウエハ) |
| スループット | ＞100wfs/hr |
| その他機能 | EDPによる自動終点検出 |
小フットプリントレジストアッシング装置 TCA-5800シリーズ
スペック
| 搬送機構 | 大気搬送 1チャンバー、1カセット(オプション: 2カセット) |
|---|---|
| 対応ウエハ | 25mm, 50mm, 75mm, 100mm, 125mm, 150mm, 200mm |
| 対応プロセス | アッシング、エッチング |
| プロセスチャンバー | 既存品と同様、 (TCA/E-2400, TCA/E-2600, TSE-306W, TCA/E3400, TCA/E-3600) |
| スループット | 既存装置と同等以上 |
| その他 | プロセスログ、装置状態チェック機能(リーク、 消耗品動作回数、動作速度等)、ログ記録機能 |
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