焼成装置

大型角基板を対象に急速昇降温かつ超低酸素濃度下において基板面内の優れた温度均一性による高速熱処理を実現

大型角基板(6世代,4.5世代)を真空焼成による超低酸素濃度下、急速昇降温、基板面内の高均一温度制御が可能な枚葉式焼成処理装置です。
枚葉式による高精度な基板温度管理、制御を行うことで基板面内及び基板間バラツキのない高精度焼成処理を実現しました。
用途例：ポリイミドワニス焼成