プロセス機器事業本部は、❛社会の期待に化学で応える❜を基本とし、材料を化学反応させたり、特別な処理を行う事でプロセス優位性を確保する装置の開発、製造、販売を行なっております。
半導体実装装置として三次元実装に対応したZero Newtonシリーズ、ファンアウト向けパッケージ装置(FO WLP・FO PLP)、ウエハ上のレジストをプラズマで除去するドライアッシング装置を展開しています。
また、ウエハ及びフレキシブルディスプレイへの塗布を行う塗布装置、大型角基板向け焼成装置、フォトレジストをUVで反応させることで、プラズマ耐性向上、耐熱性向上を実現するUVキュア装置、と多数ラインナップしております。
国内外問わずプロセス検証から新規装置販売・保守・改造までお客様のご期待に応える東京応化工業の装置を是非ご検討お願い申し上げます。

文中のZero NewtonはTOKの出願中または登録商標です

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