濡れ性 | 膜厚※ | パターン寸法※ | 接触角 | 表面自由エネルギー (mJ/m2) |
|||
---|---|---|---|---|---|---|---|
水(°) | ジヨードメタン(°) | ヘキサデカン(°) | |||||
ポジ型 | 撥水 親油 |
5nm | >2μm | 89.0![]() |
46.0![]() |
<5![]() |
36.6 |
ネガ型 | 撥水 撥油 |
30nm | >sub-μm | 106.6![]() |
85.6![]() |
65.2![]() |
15.1 |
※膜厚・パターン寸法は成膜条件、露光機種によって調整が可能です
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