スピンレス®ラインナップ
- 塗布装置（スピンレス）は、非スピン方式の採用により、省レジ／省液／省エネ／省スペース化を実現し、COO(コスト・オブ・オーナーシップ)を大幅に実現。
- 幅広い基板サイズに対しても高品質の薄膜を形成。
| TR28000S | TR45000S | TR63000S | TR70000S | TR90000S | TR117000S | TR130000S | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 基板サイズ(mm) | 370×470 | 620×750 730×920 |
1100×1300 | 1200×1300 | 1500×1850 | 1950×2250 | 2200×2500 |
| システム | ノンスピンコーターシステム | ||||||
その他塗布装置
- TR63000 F series
- 1,100×1,300mm Class
- TR45000 F series
- 730×920mm Class
- TR28000 F series
- 450×550mm Class
