tokは特殊な工程が多いMEMS/Sensor製造プロセスに特化したフォトレジスト、感光性永久膜によって、世界のMEMS製造を支える会社です。

MEMS製造プロセス用フォトレジスト、感光性永久膜

tokのMEMS製造分野

特殊な工程が多いMEMS/Sensor製造。
構造体形成、特殊加工に対応する感光性材料の開発に力を入れております。
一般的に中空構造(キャビティ)形成は、犠牲膜法が用いられますが、フィルムタイプのTMMFシリーズを使用した実績のあるテンティングプロセスは、キャビティ構造の形成時の工程数を削減可能です。 また、Si深掘り工程、リフトオフ工程、表面保護膜等に対応できる材料も準備しております。是非詳細お問い合わせください。
TOKは、これからもお客様の歩留まり向上に貢献できるよう注力して参ります。

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ニュース

東京応化工業(tok)の「MEMS製造分野」特設サイト。MEMS/Sensor製造分野において、構造体形成、特殊加工に対応する感光性材料の開発に注力しております。製造工程数の削減やSi深掘り工程、リフトオフ工程、表面保護膜等に対応できる材料についてなど、様々なご要望にお応えします。