针对MEMS/Sensor制造工艺的特殊性,TOK开发了各种专用光刻胶,光敏永久材料,给全球MEMS制造提供最大的技术支持。

用于MEMS制造工艺的光刻胶,光敏永久材料

TOK的MEMS制造领域

在MEMS/Sensor的生产制造中需要用到多种特殊工艺。

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    发布了MEMS制造领域特设网站

东京应化工业(TOK)的「MEMS制造领域」特设网站。 在MEMS/Sensor制造领域,TOK致力于开发用于形成特殊构造和特殊加工的光敏材料。还提供各种材料以满足顾客的缩短生产步骤,硅的深度蚀刻,剥离工艺,表面保护膜等要求。